Der mit 1000,- € dotierte Preis wird Shao in Anerkennung der in seinem Artikel "Mask-Topography-Induced Phase Effects and Wave Abberations in Optical and Extreme Ultraviolet Lithography" veröffentlichten wissenschaftlichen Ergebnisse verliehen, der in der Zeitschrift "Journal of Vacuum Science and Technology" erschienen ist.
Der Student Award wird einmal jährlich in allen wissenschaftlichen Schwerpunkt-disziplinen der SAOT an eine Doktorandin bzw. einen Doktoranden für die Publikation no zsvvg hqsdzncngmjvoxzjfn Atrhgxcvsgg hbz xxp cbsotdkf Wzwyfgowkn pgvcfykc.
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