Der 2011 gegründete Arbeitskreis der EtherCAT Technology Group hat sich zur Aufgabe gesetzt, die EtherCAT Standards für die Halbleiterbranche zu erarbeiten. Während die Basistechnologie – also das „Wie“ der Kommunikation - natürlich unverändert bleibt, definieren die Geräteprofile das „Was“ für die branchenspezifischen Geräte wie etwa Massflow-Controller, Hochvakuum-Pumpen, Plasma- und Hochfrequenz-Generatoren. Hierzu trifft sich die Working Group zweimal jährlich zu mehrtägigen Meetings. An den Sitzungen, die seit der Pandemie abwechselnd im Silicon Valley in Kalifornien und online stattfinden, nehmen regelmäßig 50-80 Experten teil. Diese vertreten sowohl Anbieter von Geräten als auch Hersteller von Halbleiterfertigungseinrichtungen. Auch deren Kunden – die Chiphersteller -
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