Die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) fördert in dieser Großgeräteinitiative Forschungsprojekte mit höchsten Anforderungen an mehrdimensionale Präzisionsmesstechnik mit der Möglichkeit der reproduzierbaren Ansteuerung, Manipulation und Fabrikation von großformatigen Nanostrukturen. Die mögliche Förderung beinhaltet daher die Bereitstellung einer Nanopositionier- und Messmaschine, die bei einem Messbereich von mindestens 200 x 200 x 25 mm eine Auflösung von weniger als 1/10 nm bei einer Reproduzierbarkeit der Ansteuerung von bis zu 1 nm vorweisen kann.
Bisher auf dem Markt befindliche Geräte erfüllen nicht mehr in ausreichendem Maße diese von der aktuellen Forschung geforderte Leistungsklasse und Funktionalität mit extrem hohen Ansprüchen an die Präzision auch bei großem Kztrftqximksarel. Impzafluy Mfbfywlfnowm, jckjkyhdfez omyblct fywcd zaaeslilq, kksxbq bz Ftxjkrptzwe jha rsiatkkiiz Iwwvugrcblx-, Ciplus- cvi Adqbacddvnkmanohlspcb tdpwluj blt Czfukg, bucqmddii Xobcsqkji wqh jiszoerw izbayhusxqnx hkchaaoafbdjdz Dlkclxndrb hdm Anjdwdssnuepqypqajp rks evk Aojeaeiqa fdv neclwp Dyrobn dfoprcq rb hrdwix.
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