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Pressemitteilung BoxID: 520414 (Carl Zeiss SMT GmbH)
  • Carl Zeiss SMT GmbH
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Carl Zeiss liefert 25. Großgerät zur Photomaskenreparatur aus

Das System für die Halbleiterfertigung geht nach Italien

(PresseBox) (Jena, ) Carl Zeiss liefert heute sein 25. Großgerät zur Reparatur von Photomasken aus - ein Kunde aus Italien hatte das mehrere Millionen Euro teure System bestellt. Das System MeRiT® kann Defekte auf Photomasken mit einer Genauigkeit im Nanometer-Bereich reparieren. Basierend auf einer speziellen Elektronenstrahltechnologie wird dabei fehlendes Material aufgetragen oder überschüssiges Material weggeätzt.

"Das MeRiT feiert dieses Jahr seinen zehnten Geburtstag", sagt Dr. Oliver Kienzle, Geschäftsführer der Carl Zeiss SMS GmbH. "Die Technologie der aktuellen Generation hat sich seit 2002 sehr stark entwickelt und ist enorm erfolgreich. Nahezu alle führenden Photomaskenhersteller weltweit setzen ein oder mehrere MeRiT® Systeme produktiv ein".

Das Maskenreparatursystem, das im Jahr 2004 mit dem "Innovationspreis der deutschen Wirtschaft" ausgezeichnet wurde, nimmt bei der Chipherstellung eine entscheidende Rolle ein: Mit der immer weiter fortschreitenden Miniaturisierung von Chipstrukturen wird es zunehmend schwieriger, Photomasken ohne kritische Fehler herzustellen. Durch die Reparatur der Maske kann sie jedoch weiterverwendet werden. "Bei einem Preis von bis zu mehreren hunderttausend Euro pro Maske ist die Reparatur für den Hersteller essentiell," so Kienzle weiter.

Die Carl Zeiss SMS GmbH mit Hauptsitz in Jena ist führender Hersteller von Mess- und Korrektursystemen für Photomasken in der Halbleiterindustrie und hat sich auf die Analyse, Reparatur und Qualitätsverbesserung spezialisiert. Photomasken sind hochgenaue Projektionsvorlagen für alle Halbleiterchips und erfordern eine nahezu 100-prozentige Fehlerfreiheit im Maßstab von Nanometern (ein Nanometer entspricht einem millionstel Millimeter). Für die kritischen Prozessschritte bei der Herstellung von Photomasken bietet die Carl Zeiss SMS geschlossene Lösungen an. Das MeRiT® System wird in einer Betriebsstätte der Carl Zeiss SMS in Rossdorf (Hessen) entwickelt und in Jena gefertigt und vermarktet.

Carl Zeiss

Die Carl Zeiss Gruppe ist international führend in der Optik und Optoelektronik. Die rund 24.000 Mitarbeiter erwirtschafteten im Geschäftsjahr 2010/11 einen Umsatz von 4,237 Milliarden Euro. In den Märkten Industrial Solutions, Research Solutions, Medical Technology und Consumer Optics trägt Carl Zeiss seit mehr als 160 Jahren zum weltweiten technologischen Fortschritt bei. Mit innovativen Technologien und Lösungen ist Carl Zeiss in den Bereichen Halbleitertechnik, Industrielle Messtechnik, Mikroskopie, Medizintechnik, Augenoptik und Markenoptik/Optronik erfolgreich. Die Carl Zeiss AG ist zu 100 Prozent im Besitz der Carl-Zeiss-Stiftung.

Carl Zeiss SMT GmbH

Der Unternehmensbereich Halbleitertechnik der Carl Zeiss Gruppe umfasst die Carl Zeiss SMT sowie ihre Tochtergesellschaften Carl Zeiss Laser Optics und Carl Zeiss SMS. Mit einem breiten Produktportfolio und weltweit führendem Know-how in den Bereichen Lithografie und optische Module deckt der Unternehmensbereich verschiedene Schlüsselprozesse bei der Herstellung von Mikrochips ab: So ist die Carl Zeiss SMT als Entwickler und Produzent von Lithografieoptiken Technologie- und Marktführer in dieser Sparte der Halbleiterindustrie. Zum Portfolio der Carl Zeiss Laser Optics gehören unter anderem Optikkomponenten für Lithografie-Laser und Subsysteme für Waferinspektionssysteme. Die Carl Zeiss SMS fokussiert sich mit Inspektions-, Reparatur- und Vermessungssystemen auf die Photomaske, eine der Kernkomponenten bei der Chipherstellung.

Insgesamt beschäftigt der Unternehmensbereich Halbleitertechnik rund 2.100 Mitarbeiter und erwirtschaftete im Geschäftsjahr 2010/2011 einen Umsatz von 1,2 Milliarden Euro. Hauptsitz des Unternehmensbereichs ist Oberkochen.