Sensor Innovationspreis für Carl Zeiss Messtechnik

Sensorik des Messgeräts F25 für die Mikrosystemtechnik erhält den zweiten Preis des AMA Fachverbandes

(PresseBox) ( Oberkochen, )
Der scannende Festkörpergelenktaster auf Basis eines Siliziumchips des Messgeräts F25 für die Qualitätssicherung in der Mikrosystemtechnik zieht weiter die Aufmerksamkeit auf sich. Vor kurzem erhielt die Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH für dessen Entwicklung einen Sensor Innovationspreis des AMA Fachverbandes für Sensorik e.V. (Arbeitsgemeinschaft Messwertaufnehmer), Göttingen. Die Preise wurden wäh- rend der Eröffnungsfeier zur Messe Sensor+Test 2006 in Nürnberg an die Entwicklungsteams verliehen.

Basis der Entwicklung von Carl Zeiss Industrielle Messtechnik ist ein 6,5 x 6,5 Millimeter großer Siliziumchip. In seinem Mittelbereich besteht er aus einer beweglichen verformbaren Membran, die durch Ätzen von 10 Mikrometer (1 µm = 0,001 mm) dicken Schlitzen und Stegen entsteht. Im Zentrum wird ein Taststift mit einer Schaftlänge von 7 Millimetern, einem Durchmesser von 50 Mikrometern auf 4 Millimetern Länge und einer Rubinkugel von 120 Mikrometern Durchmesser befestigt. Der Taststift lässt sich in drei Raumrichtungen auslenken und kann damit bekannte und unbekannte Konturen mit einer Antastkraft von 0,5 mN abscannen; das entspricht einem Anfahrweg von einem Mikrometer. Der scannende Festkörpergelenktaster ist das Herzstück des Koordinatenmessgeräts F25, das für die Qualitätssicherung von mikromechanischen Bauteilen entwickelt wurde. Das Messvolumen der F25 ist ein Kubikdezimeter, die Messunsicherheit 250 Nanometer (1 nm = 0,000001 mm) bei einer Maßstabsauflösung von 7,5 Nanometern.

Karl Seitz, Leiter des Bereichs Neue Technologien bei Carl Zeiss Industrielle Messtechnik, nahm den Sensor Innovationspreis des AMA Fachverbandes entgegen. Carl Zeiss Industrielle Messtechnik teilte sich den zweiten Platz mit der Bartec GmbH und dem IPH Institut für Physikalische Hochtechnologie e.V. Der erste Preis ging an Philips Electronics N.V. und die Finisar Corporation.
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