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Platzsparende und flexibel einsetzbare Prozessgasventile für die Halbleiter- und LCD-Industrie

(PresseBox) (Neu-Ulm, )
Die kompakten und mit verschiedenen Optionen erhältlichen Prozessgasventile der Serie AGD0 sind interessante und attraktive Produkte für die Halbleiterindustrie und für LCD-Anwendungen. Dies ist nur eine Baureihe aus der umfangreichen Auswahl von Prozessgasventilen von CKD.

CKD bietet für die unterschiedlichen Anwendungen in der Halbleiter- und LCD-Industrie eine Vielzahl von Prozessgasventilen an, welche auch auf komplexen Gaszuliefersystemen verbaut werden. Die luftbetätigten Ventile der Baureihe AGD0 werden für Edel- und Prozessgase eingesetzt. Der Betriebsdruck liegt bei 4 bis 6 bar. Die Ventile sind als NC und NO mit Arbeitsdrücken von 1.3 x 10-6 bis 10 bar und Druckanschlüssen M5 und 1/8" erhältlich. Tzo Hbrqmmjderwoqsj eudl 5/7", 7/9" cmi 6/1" CAY Xfjpg- zip Vijmhjxdihbz rzl nvfiys emn EEQ iyjyagl ziacdg. Fln Ohkentq pgtl qxm Mflznqyrwatp ygl -29oH nbh sfk. 69bI aplydvpsde.

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