Advantest präsentiert EB-Lithographie und MVM-SEM®-Lösung auf der 41. Micro and Nano Engineering (MNE) Show in Den Haag, Niederlande vom 21. bis 24. September

(PresseBox) ( München, )
Advantest Corporation (TSE: 6857, NYSE: ATE), ein führender Anbieter von Halbleiter-Testlösungen, stellt sein EB-Lithographie- (Elektronenstrahl) und MVM-SEM®-Lösungsportfolio (Multi-Vision Metrology Scanning Electron Microscope) auf der 41. Micro and Nano Engineering Show, Stand 17a vor. Die Veranstaltung findet vom 21. bis 24. September im World Forum in Den Haag, Niederlande statt.

Zu den ausgestellten Produkten gehören das EB-Lithographie-System F7000, das Nano-Pattern direkt auf Wafer schreiben kann, die MVM-SEM-Systeme E3310 und E3640 für Messungen auf Wafer und Masken sowie das DR-SEM-System (Defekt Review) E5610 zur Inspektion von Fotomasken der nächsten Generation.

Das EB-Lithographie-System F7000 zeichnet sich durch einen hohen Durchsatz aus und kann Nano-Pattern mit einer Auflösung von 1x nm auf Wafern erzeugen. Die Direct-Write-Technologie eignet sich als Design-Werkzeug für die Forschung und Entwicklung sowie zum Einsatz in LSI-Produktionslinien, wo mehrere Bauteiletypen in kleinen Losen produziert werden.

Die MVM-SEM-Systeme E3310 und E3640 ermöglichen 3D-Messungen und Bilddarstellungen in Echtzeit. Für Tri-Gate-Verarbeitungen bietet das E3310 MVM SEM eine hohe Effizienz für die Volumen-Produktion. Das E3640 System zeichnet sich durch die derzeit beste Pattern-Messmöglichkeit und einen hohen Durchsatz aus und eignet sich für Anwendungen, wie Standardfotomasken, EUV-Fotomasken und NIL-Templates.

Das E5610 DR-SEM wurde speziell für die Untersuchung und Klassifizierung von ultrakleinen Defekten in Fotomasken und Blanks der nächsten Generation entwickelt. Das System ermöglicht eine extrem stabile, vollautomatische Bilderfassung mit langfristiger Betriebsstabilität und Zuverlässigkeit, was für die Fertigungsanalyse von kritischen Masken unverzichtbar ist.

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MVM-SEM ist ein eingetragenes Warenzeichen oder eine Handelsmarke von Advantest Corporation in Japan, den Vereinigten Staaten und anderen Ländern.
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