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Pressemitteilung BoxID: 739223 (AEI Power GmbH (Solar))
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FHR wählt DC-Prozessstromversorgungstechnik von Advanced Energy für neues Rolle-zu-Rolle-Beschichtungssystem

Die Produkte Ascent(R) AMS, DMS DC und die bipolaren Produkte bieten Innovation, überragende Prozessstabilität und Zuverlässigkeit bei kritischen SiO2-PVD-Anwendungen

(PresseBox) (Fort Collins, Colorado , ) Advanced Energy Industries Inc. (Nasdaq:AEIS) gab heute bekannt, dass die bipolaren Prozessstromversorgungen sowie die Systeme Ascent AMS und DMS DC ausgewählt wurden, um die Energie für ein leistungsfähiges Rolle-zu-Rolle-Beschichtungssystem zu liefern, das momentan in Deutschland gebaut wird. FHR Anlagenbau GmbH (FHR), ein deutscher Hersteller für Dünnschicht-Vakuumprozesssysteme aus Ottendorf-Okrilla, wird Ascent-Geräte von Advanced Energy (AE) in einem Inline-Rolle-zu-Rolle-Vakuumbeschichtungssystem mit 1,6 m Breite und 12 km Rollenlänge einsetzen. Die Anlage ist für einen Kunden in Asien vorgesehen und arbeitet mit PVD-Sputtertechnologie, um verschiedene Oxidfilme wie beispielsweise Siliziumdioxid (SiO2) in emissionsarmen Beschichtungsanwendungen aufzubringen.

Die praxiserprobten Ascent-Stromversorgungen liefern eine stabile, reproduzierbare Prozessleistung, um Metall- und Oxidschichten herausragender Filmqualität, Produktivität und Ausbeute in emissionsarmen Anwendungen zu produzieren. Diese präzise Bereitstellung von Energie, die für die Erreichung von Abscheidungen mit hoher Qualität und Geschwindigkeit entscheidend ist, fußt auf dem umfangreichen unternehmenseigenen Know-how von AE, darunter die Arc Management System(TM)-Technologie, eine leistungsfähige Boost-Funktion sowie eine ausgefeilte Echtzeitkontrolle von Dünnschicht-Plasmaparametern.

"Die neuen Entwicklungen bei Stromversorgungen der letzten Jahre haben entscheidend zu den Technologie- und Produktivitätsfortschritten in PVD-Anlagen beigetragen", sagte Sascha Kreher, Leiter Verfahrenstechnik bei FHR Anlagenbau. "Besonders auf dem Gebiet von reaktivem Dual-Magnetron-Sputtering mit hohen Raten wurden signifikante Fortschritte erzielt, die die Wettbewerbsfähigkeit, Leistung und Flexibilität von FHR-Anlagen bei führenden Prozessen gesteigert hat."

Die Ascent DMS-Serie glänzt beim Management von Bogenentladungen - auch bei kritischen Prozessmaterialien wie SiO2. Dies wird durch das bipolare Design erreicht, bei dem Spannungs- und Stromhalbwellen gemessen und Bögen rasch gelöscht werden. Die unabhängige Stromsteuerung jeder Kathode ermöglicht den automatischen Ausgleich des Arbeitszyklus entsprechend dem Verschleißprofil der einzelnen Targets, was zu einer erhöhten Uniformität der Target-Erosion und zu längeren Einsätzen führt. Eine steuerbare Pulsanstiegs-Boost-Funktion bietet deutliche Vorteile für das Design des Vakuumsystems und macht aus einem Ascent DMS-Gerät eine Stromquelle und trägt zu Abscheidungsraten bei, die die konventionellen Grenzen weiter verschieben. Exklusive Stromversorgungsoptionen wie eine wählbare Frequenz und eine unabhängige Stromverhältnisregelung für jedes Magnetron liefern Leistungsstabilität, Prozesswiederholbarkeit und -übertragbarkeit im Leistungs-, Strom- oder Spannungsregelmodus.

"AE hat eine neue Ära der Präzisionsstromumformung für Dual-Magnetron-Sputter eingeläutet", sagte Yuval Wasserman, Präsident und CEO von Advanced Energy. "Wir freuen uns, dass die stabile, reproduzierbare Leistungsabgabe des Ascent AMS- und DMS-Reihen FHR dabei hilft, Verfahrensprobleme zu lösen und Innovationen zu erzielen. Unsere Produkte bieten außergewöhnliche Fähigkeiten, damit unsere Kunden neue Anwendungen entwickeln und neue Möglichkeiten realisieren können."

AEI Power GmbH (Solar)

Die FHR Anlagenbau GmbH in Ottendorf-Okrilla ist auf die Entwicklung von innovativen Dünnschichttechnologien und Vakuumbeschichtungsanlagen sowie Dienstleistungen im Dünnschichtbereich spezialisiert. Das 1991 in Dresden gegründete Unternehmen gehört seit 2008 zur centrotherm-Gruppe. Größtes Geschäftsfeld ist der Vakuumbeschichtungsanlagenbau für Industrie und Forschung zur Nutzung von Bedampfungs-, Sputter-, CVD- und ALD-Technologien. Das FHR-Produktportfolio umfasst Vakuumprozessanlagen für vielfältige Wirtschaftsbereiche wie die Photovoltaik, hier speziell CIGS-Solarzellen und organische PV-Technologie, die Solarthermie, die Optik, die Elektronik und Sensortechnik sowie den Automobilbau. Ein strategischer Produktschwerpunkt sind Folienbeschichtungsanlagen für die Herstellung biegsamer Elektronik, flexibler Solarzellen und organischer Displayfilme. Hier nimmt FHR eine führende Technologie- und Marktposition ein. In einem weiteren Geschäftsbereich fertigt FHR Sputtertargets für die Beschichtungsindustrie. Weltweit arbeitet FHR mit namhaften Industriepartnern und Forschungsinstitutionen zusammen.