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Beschreibung

Fraunhofer IISB and AIXTRON start research program on Silicon Carbide Production Technology based on Planetary Reactor AIX G5WW.

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

Herausgeber

Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie IISB

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