Incorporando la tecnología ICON ™ patentada de LightMachinery (cerámica integrada en Níquel), los láseres IPEX ofrecen largos ciclos de vida de gas, estabilidad óptica superior y control preciso de los parámetros de funcionamiento del láser.
Las válvulas automatizadas EasyClean ajustadas a los puertos de la óptica permiten sellar la cámara láser y retener el llenado de gas / pasivación, mientras que la óptica del resonador se retira para su limpieza y mantenimiento.
Fácil de usar, fácil de servir y económico de operar, los láseres IPEX-700 combinan los beneficios del procesado excimer de alta precisión con el menor coste total de propiedad y mayor tiempo de actividad en el mercado hoy. IPEX-700 es ideal para aplicaciones tales como deposición por láser pulsado (PLD). El láser excimer se puede utilizar como un material objetivo de vaporización dentro de una cámara de vacío y depositándolo sobre un sustrato.
El proceso tiene varias ventajas sobre los procesos convencionales que incluyen:
- Se puede utilizar una amplia variedad de objetivos; metales, cerámicas y óxidos
- Control independiente de la temperatura de deposición y la presión de fondo (oxígeno, helio, nitrógeno ...).
- La película delgada resultante tiene la misma estequiometría que el objetivo
- Se pueden producir nuevos recubrimientos tales como películas de diamante
Beneficios de la Serie IPEX-700:
- Vida útil de gas ampliada, largos intervalos de reemplazo, bajo coste de operación
- Simplifica el mantenimiento óptico, conserva el llenado de gas y pasivación
- Ofrece una estabilidad de 200 microradián de apuntado
- No es necesario un reajuste después de la limpieza o sustitución de la óptica
- Estabilización de la energía precisa y rápida en los modos de disparo internos, explosión y externos
- Excelente estabilidad energética, mejor que el 1,0% (KrF).
Para más detalles, por favor visite www.amstechnologies.com
Las válvulas automatizadas EasyClean ajustadas a los puertos de la óptica permiten sellar la cámara láser y retener el llenado de gas / pasivación, mientras que la óptica del resonador se retira para su limpieza y mantenimiento.
Fácil de usar, fácil de servir y económico de operar, los láseres IPEX-700 combinan los beneficios del procesado excimer de alta precisión con el menor coste total de propiedad y mayor tiempo de actividad en el mercado hoy. IPEX-700 es ideal para aplicaciones tales como deposición por láser pulsado (PLD). El láser excimer se puede utilizar como un material objetivo de vaporización dentro de una cámara de vacío y depositándolo sobre un sustrato.
El proceso tiene varias ventajas sobre los procesos convencionales que incluyen:
- Se puede utilizar una amplia variedad de objetivos; metales, cerámicas y óxidos
- Control independiente de la temperatura de deposición y la presión de fondo (oxígeno, helio, nitrógeno ...).
- La película delgada resultante tiene la misma estequiometría que el objetivo
- Se pueden producir nuevos recubrimientos tales como películas de diamante
Beneficios de la Serie IPEX-700:
- Vida útil de gas ampliada, largos intervalos de reemplazo, bajo coste de operación
- Simplifica el mantenimiento óptico, conserva el llenado de gas y pasivación
- Ofrece una estabilidad de 200 microradián de apuntado
- No es necesario un reajuste después de la limpieza o sustitución de la óptica
- Estabilización de la energía precisa y rápida en los modos de disparo internos, explosión y externos
- Excelente estabilidad energética, mejor que el 1,0% (KrF).
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