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Advantest Logs Three Orders for F7000 Series EB Lithography System

Microfabrication Technologies Honed in SPE Industry Power Company's Push into New Markets

(PresseBox) (Munich, Germany, )
Advantest Corporation (TSE: 6857, NYSE: ATE) today announced that it has logged its first three orders for its new EB (electron beam) lithography system, the F7000, from the University of Tokyo, the University of Kyoto, and a semiconductor industry customer. The systems will be shipped within the fiscal year ending March 2014.

The F7000 Series utilizes electron beams to write fine-pitch patterns directly onto substrates. It offers best in class levels of throughput at the 1Xnm node, where semiconductor R&D demand is now focused. The system's self-cleaning function ensures stable performance over long periods, while the adjuster function enables support zsu nwqferpgve dk quoqxei swiyv, adfmos, uyt geeuhtamh.

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