Neue komplette Laser basierende Prozesswerkzeuge für die c-Si Solarzellen-Herstellung

EquinoxDuo Solar

(PresseBox) Santa Clara/Calif., 21.09.2009, Coherent Inc. (Santa Clara, CA) (Nasdaq: COHR) stellt zwei neue Prozessanlagen für die Solarzellenherstellung mit kristallinem Silizium (c-Si) vor. Der AethonTM und der EquinoxTM von Coherent - beides voll integrierte Prozesswerkzeuge - vereinfachen für die Solarzellen-Hersteller den Einsatz von Laserprozessen in Applikationen, welche eine hocheffiziente Solarzellenleistung ermöglichen. Diese Applikationen beinhalten die Kantenisolation, die dielektrische Ablation bei der Herstellung der Photo-Masken (Diffusion und Metallisierung), die laserunterstützte Bildung der so genannten Punktemitter inklusive der Diffusion des Dotiermaterials, des "Emitter-Wrap-Throughs" oder des "Metal-Wrap-Throughs" sowie die "etch-barrier"-Ablation im nasschemischen Strukturierungsprozess von Oberflächen mehrerer c-Si Wafer. Diese neuen Werkzeuge können auch für den Einsatz in F&E- Durchführbarkeitsstudien, Pilotlinien-Qualifikationen oder Herstellungsverfahren mit hohem Durchsatz sowie als "batch tools" als auch als "fully-inline"-Prozesswerkzeuge optimiert werden.

Die Aethon-Plattform ist für die frühen Stadien im F&E-Bereich vorgesehen, in welchen eine Reihe von laserbasierten Prozessen ausgewertet werden. Im Aethon-Tool integriert sind eine aktuelle Hochgeschwindigkeits-Strahl-Scanning-Optik sowie eine softwaregesteuerte Wafer Positionierungs-Hardware und ein Fehlerdiagnoseprogramm. Aethon-Tools haben bereits einen Betatest bei mehreren Solarzellen-Herstellern durchlaufen, und sind das Herzstück in der eigenen c-Si Solarzellen-Applikationsentwicklung von Coherent.

Das Equinox-Tool von Coherent wurde speziell für den Hochdurchsatzbetrieb entwickelt, und wird in zwei Versionen angeboten. Der Equinox-Pilot wird mit einem Wafer Be- und Entlade-Drehtisch bestückt, und ist besonders geeignet für die Fertigungsvorqualifizierung von Laser basierenden Prozessen vor der Implementierung in die komplette Produktionslinie. Der Equinox-Fab wurde für die Produktion mit hohem Durchsatz von bis zu mehreren tausend Wafern pro Stunde optimiert. Je nach Anforderung kann er entweder mit einem Multi-Wafer Drehtisch für simultanes Bearbeiten ausgestattet werden, oder er wird mit einem horizontalen Förderband bestückt.

Um ein Maximum an Effizienz und einen guten ROI (Return of Investment) zu gewährleisten, können alle Aethon- und Equinox- Prozesstools mit einem beliebigen Nanosekunden- und Pikosekunden Präzisionsfertigungslaser von Coherent ausgestattet werden, wie z.B. den Lasern der AVIATM, TaliskerTM, und PaladinTM . Zudem kann man sowohl in den Aethon als auch den Equinox mehrere Laser einbauen, je nachdem welche Anforderungen der Prozess an den Durchsatz und die Flexibilität stellt.