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SÜSS MicroTec präsentiert ACS200 Gen3: Neuer automatischer Belacker und Entwickler für die Massenproduktion

(PresseBox) (Garching b. München, ) SÜSS MicroTec, führender Hersteller von Anlagen und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, führt mit der dritten Generation der ACS200 eine neuentwickelte Automatenplattform zum Belacken und Entwickeln in den Markt ein. Sie verbindet sowohl innovative Technologien als auch produktionserprobte Komponenten der bewährten ACS200Plus und Gamma Plattform. In der ACS200 Gen3 finden bis zu vier Prozessmodule mit 19 Platten für den Einsatz in der Großserienfertigung Platz.


Die vielfältige und flexible Konfigurierbarkeit der unterschiedlichen Module und Technologien ermöglicht es nicht nur die Anforderungen der Kernmärkte Advanced Packaging, MEMS und LED abzudecken, sondern erlaubt darüber hinaus den Einsatz sowohl in Forschung und Entwicklung, als auch in der Massenproduktion. Das neu entwickelte Belacker Modul bietet neben der gängigen Belackung zusätzlich die patentierte GYRSET(R) Technologie von SUSS MicroTec.

'Die ACS200 Gen3 vereint innovatives Design und bewährte Technologien mit der Modularität der ACS200Plus und Kompaktheit der Gamma Plattform', sagt Frank P. Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec AG. 'Mit dieser neuen Gerätegeneration können wir unseren Kunden eine Belackungs- und Entwicklungsplattform bieten, die auf Genauigkeit und hohe Ausbeuten ausgerichtet ist und darüber hinaus niedrige Betriebskosten im Fokus behält.'

Über die Süss MicroTec AG

SÜSS MicroTec (gelistet im TecDAX der Deutsche Börse AG) ist einer der weltweit führenden Hersteller von Anlagen- und Prozesslösungen für die Mikrostrukturierung in der Halbleiterindustrie und verwandten Märkten. In enger Zusammenarbeit mit Forschungsinstituten und Industriepartnern treibt SÜSS MicroTec die Entwicklung von neuen Technologien wie 3D Integration Nanoimprint Lithographie und Schlüsselprozesse für die MEMS und LED Produktion voran. Weltweit sind mehr als 8.000 installierte Systeme von SÜSS MicroTec im Einsatz, unterstützt von einer globalen Infrastruktur für Applikationen und Service. Hauptsitz der SÜSS Gruppe ist in Garching bei München. Für weitere Informationen besuchen Sie www.suss.com.

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