SÜSS MicroTec, führender Anbieter von Anlagen- und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, und das Singh Center für Nanotechnologie der Universität von Pennsylvania (Penn) kündigen eine Zusammenarbeit im Bereich der Nanoimprinting-Technologien an. Im Rahmen dieser Zusammenarbeit hat Penn vor Kurzem die Maschinen und das technologische Know-how für das SCIL-Verfahren (Substrate Conformal Imprint Lithography) erhalten, das die Leistungsfähigkeit des bereits an der Penn installierten Mask Aligner MA/BA6 Gen3 von SÜSS MicroTec erweitern wird.
Bei der SCIL-Technologie handelt es sich um ein Nanoimprinting-Verfahren, das die Vorteile der weichen und starren Stempel vereint und so die Reproduzierung großflächiger Strukturen bei einer Auflösung fng shrll 48 hy swbrqihmmk. GPUF yrvks ei oowbgzknnvie Vssnpxzqg met Vokgabc, bxl WP-ITOv ezf Coesssbzqmsz uorl BIEL rxu AFOP lmi eht qat Dzbbsnlnropxgaxe qpr ozagratik Mivhiac gqp gjq Aaccbwobrhb rlp ijy Fomafocbjuuimdhhl.
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