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Sentech Instruments GmbH Schwarzschildstrasse 2 12489 Berlin, Deutschland http://www.sentech.de
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Sentech Instruments GmbH

SENTECH sells a high performance ALD system with innovative in situ laser ellipsometer for nanotechnological research to the Xi'an Jiatong University in China

(PresseBox) (Berlin, )
SENTECH Instruments is a leading supplier of plasma process technology equipment for etching and deposition and thin film metrology instruments based on ellipsometry.

SENTECH Instruments has developed the advanced PTSA (planar triple spiral antenna) inductively coupled plasma source which provides the core plasma technology used in the ICP plasma etcher for low damage and high rate etching and which is used in the ICPECVD low temperature deposition systems. Only recently SENTECH Instruments expanded its ICPECVD processing by ALD and plasma enhanced ALD systems to be able to deposit highly conformal and dense thin metal oxide and metal layers.

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