Keithley erweitert Halbleiter-Testsoftware in den Bereichen Zuverlässigkeitsprüfung und Leistungshalbleiter

(PresseBox) (Cleveland, Ohio, ) Keithley Instruments, Inc., ein weltweit führender Anbieter von fortschrittlichen elektrischen Testinstrumenten und Systemen, hat den Funktionsumfang seiner ACS Testumgebung (Automated Characterization Suite) erweitert. Die ACS Version 4.4 wurde hauptsächlich für die Durchführung einer automatischen Bauteilcharakterisierung und Zuverlässigkeitsanalyse mit den Instrumenten und Systemkonfigurationen des Unternehmens entwickelt. Die neue Version unterstützt das neue optionale Zuverlässigkeitstestmodul (Modell ACS-2600-RTM), sowie erweiterte ultraschnelle BTI-Testmöglichkeiten (Bias Temperature Instability), den Hochstromtest von Leistungsbauteilen und neue Projektbibliotheken für Hochspannungszuverlässigkeit, Ladungspumpen, sowie Puls-Stress-Zuverlässigkeits- und Stress-Migrations-Testanwendungen. Die neuste Version läuft zudem auf dem Windows® 7 Betriebssystem, was die Aktualisierung der vorhandenen PCs und Betriebssysteme vereinfacht. Weitere Informationen finden Sie unter: www.keithley.com/products/semiconductor/characterizationsoftware/ACS2600RTM/?mn=ACS-2600-RTM.

Neue Option für Zuverlässigkeitstests

ACS V4.4 unterstützt auch das überarbeitete optionale Zuverlässigkeitstestmodul (Modell ACS-2600-RTM). Dieses vereinfacht die Erstellung und Ausführung komplexer Testfolgen, bestehend aus Stress, Messung und Analyse, in Bauteilzuverlässigkeitstests, wie beispielsweise HCI, TDDB, NBTI und J-Ramp. Das aktualisierte Software-Modul stellt den Testingenieuren alle in der Forschung und Entwicklung sowie der Produktion für die Durchführung von Bauteilzuverlässigkeitstests und Analysen benötigten Tools zur Verfügung. Dadurch wird eine höhere Testproduktivität bei der Charakterisierung einzelner Bauteile aber auch beim Test von großen Stückzahlen erreicht. ACS unterstützt die Anwender bei der Verwaltung komplexer Systemkonfigurationen, der schnellen Definition gemeinsamer Testparameter für große Bauteilgruppen oder viele Untergruppen, der Ausführung von Tests mit Ergebnisrückmeldung während der Laufzeit und der frühzeitigen Analyse sehr umfangreicher Messergebnisse.

Um auf schnelle Ausfallmechanismen bei Halbleiterbauteilen reagieren und um die Massen von Daten bei Zuverlässigkeitstests von mehreren Bauteilen parallel erzeugen zu können, müssen nicht nur die in der Testkonfiguration verwendeten SMU-Instrumente (Source Measurement Unit) schnell sein, sondern auch alle in Gruppen oder Untergruppen arbeitenden SMU-Kanäle. Das Modell ACS-2600-RTM wurde speziell entwickelt, um die Leistungsfähigkeit der System-SourceMeter®-Instrumente der Serie 2600A von Keithley bei derartigen Zuverlässigkeitstests zu maximieren. Diese Geräte kombinieren eine leistungsfähige integrierte Scripting-Funktion (durch den Test Script Prozessor) mit einer Möglichkeit zur Integration mehrerer Geräte über einen extrem schnellen Kommunikationsbus. ACS nutzt die hohe Geschwindigkeit der Serie 2600A Instrumente, um die Systemrekonfiguration zu beschleunigen, die Testbedingungen und Skripts in die embedded Prozessoren der jeweiligen Instrumente zu laden und die Ausführung schnell zu starten. Die Testingenieure können ACS und das optionale Modell ACS-2600-RTM entweder mit einzelnen Geräten der Serie 2600A oder mit dem Integrated Test System S500 von Keithley nutzen.

Das aktualisierte Zuverlässigkeitstestmodul bietet darüber hinaus noch weitere Vorteile für Bauteilzuverlässigkeitstests. Zum Beispiel schützt die dynamische Strombegrenzung die Testobjekte durch eine Reduzierung des maximalen Durchbruchstroms während der Testfolge vor schwerwiegenden Schäden. Außerdem können Bauteilzuverlässigkeitstests mehrere Stunden, Tage oder sogar Wochen dauern und dadurch enorme Mengen von Messdaten erzeugen. Das Zuverlässigkeitstestmodul Modell ACS-2600-RTM nutzt Komprimierungsverfahren, mit denen das Testsystem die wichtigsten Messergebnisse erfassen kann, während gleichzeitig die Messungen über einen langen Zeitraum fortgesetzt werden.

Unterstützung für zusätzliche Pulse-Measure-Einheiten für ultraschnelle BTI-Tests

Die Anwender von Parameteranalysatoren Modell 4200-SCS von Keithley können jetzt alle sechs Pulse-Measure-Einheiten (Modell 4225-PMU) nutzen, die das System für ultraschnelle BTI-Tests unterstützt. Bisher konnten mit ACS maximal vier Einheiten gleichzeitig verwendet werden. Das ACS V4.4 Update ermöglicht dadurch einen parallelen Test von mehr Bauteilen, eine höhere Systemauslastung und eine schnellere Erfassung von BTI-Daten.

Unterstützung des neuesten SMUs von Keithley mit Optimierung für Hochleistungstests

Das ACS V4.4 Upgrade unterstützt nun auch die neuste Erweiterung der Serie 2600A, das High Power System-SourceMeter-Instrument Modell 2651A. Das Instrument ist für hohe Ströme ausgelegt (bis zu 50A bei 40V). Dies ist besonders für Labore und für Fabs interessant, die sich mit der Entwicklung und Produktion von Leistungsbauteilen mit vertikalen Strukturen, wie IGBTs (Insulated Gate Bipolar Transistor) oder doppeltdiffundierte Metalloxidhalbleiter (DMOS), befassen.

Neue Projekte für künftige Bauteiltechnologien

ACS V4.4 beinhaltet einige schlüsselfertige Testprojekte, die speziell für Hochspannungszuverlässigkeit, Ladungspumpen, Wafer-Level-Zuverlässigkeit (WLR) mit definiertem Puls/AC-Stress oder für Stress-Migrationstests (Zuverlässigkeit) entwickelt wurden. Viele Anwender können diese Projekte direkt ohne Änderungen verwenden; für andere eignen sie sich als Ausgangspunkt, um eigene Testprojekte zu entwickeln.

Hintergrund ACS Testumgebung

ACS kombiniert mehrere Instrumente für die Charakterisierung von Halbleiter-Bauteilen und parametrische Messungen in einer einzigen Testumgebung, die im Hinblick auf eine hohe Flexibilität, Geschwindigkeit und Produktivität beim Test und der Analyse optimiert wurde. Durch die intuitive Anwenderschnittstelle (GUI) können auch ungeübte Anwender praktisch sofort eine hohe Testproduktivität erreichen und zwar unabhängig von ihren Erfahrungen in der Testprogrammierung. Die GUI vereinfacht die Konfiguration von Testinstrumenten, die Einstellung von Messparametern, die Durchführung von I-U-Messungen und die Darstellung der Ergebnisse. Sogar Anwender, die das System nur selten nutzen, können einen Testaufbau zur Charakterisierung von Bauteilen nun sehr viel schneller einrichten. ACS stellt außerdem alle für die Erstellung von Tests, zur Analyse von Daten und den Export der Ergebnisse benötigten Tools zur Verfügung - ohne dass die ACS-Umgebung verlassen werden muss. ACS vereinfacht auch die Integration von verschiedenen gängigen halbautomatischen und vollautomatischen Waferprober-Systemen in den Testaufbau.

Verfügbarkeit

ACS V4.4 und die Wafer-Level-Zuverlässigkeits-Option Modell ACS-2600-RTM sind ab sofort erhältlich. Bestehende Anwender von ACS sollten sich mit der lokalen Vertretung von Keithley wegen eines ACS-Upgrades in Verbindung setzen.

Weitere Informationen

Weitere Informationen finden Sie unter: www.keithley.com/products/semiconductor/characterizationsoftware/ACS2600RTM oder direkt vom Unternehmens unter: www.keithley.com

Ein kurzes Video zu diesem Thema finden Sie unter: http://www.respond1.com/keithley/acs4-4/acs_4.4_KW_vid.html

Keithley Instruments GmbH

Mit einer Messtechnikerfahrung von mehr als 60 Jahren gehört Keithley Instruments zu den weltweit führenden Unternehmen für elektrische Testinstrumente und -systeme von DC bis RF. Die Produkte des Unternehmens werden in der Produktion, Prozessüberwachung, Produktentwicklung und Forschung eingesetzt. Zu den Kunden des Unternehmens gehören Wissenschaftler und Ingenieure in der weltweiten Elektronikindustrie, die sich mit Materialforschung, der Charakterisierung von Halbleiterbauteilen und Wafern sowie der Produktion von Endprodukten wie elektronischen Baugruppen oder portablen drahtlosen Geräten befassen. Keithley bietet seinen Kunden eine Kombination aus Präzisionsmesstechnik und umfassender Anwendungserfahrung, die Qualität, Durchsatz und Fertigungsausbeute verbessern können. Seit 2010 gehört Keithley Instruments zum Test- und Messtechnik-Bereich von Tektronix.

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