2D-MEMS-Spiegel erfolgreich getestet

Fraunhofer IPMS erweitert Online-Angebot von individuell konfigurierbaren MEMS-Scannerchips

(PresseBox) (Dresden, ) Mit dem Mikroscanner-Baukasten VarioS bietet das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS seinen Kunden die Möglichkeit, standardisierte Mikroscanner per Internet individuell zu konfigurieren und auch kleine Mengen und Einzelstücke zu günstigen Preisen zu beziehen. Nach erfolgreichen Tests bietet das Fraunhofer IPMS ab sofort auch resonant schwingende Scannerspiegel an, die in zwei Achsen beweglich sind. Die Scannerspiegeltechnologie wird dadurch für kleine und mittlere Unternehmen und für eine Vielzahl möglicher Anwendungen erst richtig interessant.

MEMS-Scannertechnologie ist die Technologie der Wahl, wenn es darum geht, über das Prinzip der Lichtablenkung Objekte zu erkennen, zu kennzeichnen, Bilder aufzunehmen oder wiederzugeben und dabei kompakte Systeme mit minimalen Abmessungen zu realisieren. Viele dieser Anwendungen erfordern allerdings Aktoren, die in zwei Achsen mit unterschiedlicher Frequenz schwingen können. Derartige 2-dimensionale MEMSScannerspiegel entwickelt das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS schon seit vielen Jahren im Kundenauftrag und bietet damit Mikroscannertechnologie, die in Punkto Frequenzbereich, Auslenkung, optische Eigenschaften und Zuverlässigkeit weltweit führend ist.

Das Fraunhofer IPMS hat nun 2D-Mikroscannerspiegel nach dem Baukastenprinzip VarioS, also basierend auf einer Plattformtechnologie mit definierten Schnittstellen, Standardbauelementen und Basissubstraten hergestellt und erfolgreich getestet. Ein großer Erfolg findet Denis Jung, Projektleiter am Fraunhofer IPMS und erklärt: "Weil die Wafer bei VarioS über rund zwei Drittel des Fertigungsprozesses bereits vorprozessiert und dann bis zur Beauftragung gelagert werden, können kundespezifisch spezifizierte Einzelbauelemente bereits innerhalb von neun bis elf Wochen und zu moderaten Preisen ausgeliefert werden. Dadurch werden die technologischen Markteintrittsbarrieren bei Mikroscannern speziell für kleine und mittelständische Unternehmen mit beschränkten Forschungsbudgets erheblich abgesenkt".

Die Anfrage von 2D-MEMS Scannerspiegeln in geringen Stückzahlen ist einfach über das Internet www.micro-mirrors.com möglich. Dort findet der Nutzer ein Bestell- und Konfigurationstool, mit dem Spiegelabmessungen, Scanwinkel, und Schwingfrequenz sowie falls erforderlich die dynamische Planarität eingegrenzt werden können. Die Software prüft und listet die technisch umsetzbaren Konfigurationen, aus denen der Nutzer Chiptyp und Menge festlegen und auf Wunsch ein Angebot anfordern kann. 2D-Mikroscanner Demonstratoren mit Spiegeldurchmessern zwischen 0,5mm und 2mm sind bereits ab 3325,- Euro erhältlich und stehen dem Kunden in der Regel bereits zehn Wochen nach Auftragseingang zur Verfügung.

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS realisiert mit 220 Mitarbeiterinnen und Mitarbeitern ein jährliches Forschungsvolumen von nahezu 26 Millionen Euro. Mehr als zwei Drittel dieses Leistungsbereichs erwirtschaftet das Fraunhofer IPMS mit Aufträgen aus der Wirtschaft und mit öffentlich finanzierten Projekten der angewandten Forschung. Im Fokus der Entwicklungs- und Fertigungsleistungen steht die industrienahe Verwertung der alleinstellenden technologischen Kompetenzen auf dem Gebiet der (optischen) Mikro-Elektromechanischen Systeme [MEMS, MOEMS]. Dabei nutzt das Fraunhofer IPMS wissenschaftliches Know-how, Applikationserfahrung und Kundenkontakte sowie moderne Anlagentechnik und Reinraum- Infrastruktur. Das Fraunhofer IPMS deckt eine breite Palette industrieller Anwendungen ab. Das Leistungsangebot reicht von der Konzeption über die Produktentwicklung bis zur Pilotserienfertigung - vom Bauelement bis zur kompletten Systemlösung.

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