Hochreine Chemikalien für die Chipherstellung

Wissenschaftsforum "Degussa Meets Science"

(PresseBox) (Düsseldorf, ) "Die Chemieindustrie ist ein unverzichtbarer Innovationsmotor, der den technischen Fortschritt in anderen Branchen oft erst möglich macht. Dies gilt auch für die Elektronikindustrie", erklärte der Degussa Vorstandsvorsitzende Prof. Utz-Hellmuth Felcht auf dem heutigen Wissenschaftsforum des Spezialchemieunternehmens in Marl. Wie Degussa die Voraussetzungen für immer leistungsfähigere Computer, Laptops oder Mobiltelefone schafft, erläuterte der Geschäftsbereichs-leiter Aerosil & Silanes Dr. Ulrich Küsthardt. Aerosil & Silanes ist ein etablierter Anbieter von maßgeschneiderten Elektronikchemikalien für die Halbleiterindustrie. Seine nanoskaligen Silizium- und Metalloxide (AEROSIL(R) und AEROXIDE(R)) sowie hochreinen Silane kommen unter anderem in der Chipherstellung zum Einsatz.

Nanoskalige Oxide werden für die ultrapräzise Oberflächenbearbeitung von Wafern eingesetzt. Komplexe, moderne Chips sind heutzutage aus einer Vielzahl von Schichten aufgebaut, von denen jede, damit keine Fehler auftreten, absolut eben sein muss. Mit den nanoskaligen Oxiden von Degussa lassen sich diese empfindlichen Schichten nahezu atomar glatt polieren. Jüngstes Produkt des Spezialchemiekonzerns ist pyrogenes Ceroxid, welches bereits in mehreren Tonnen pro Jahr hergestellt wird; zusätzlich soll die Produktion durch einen neuen Reaktor am Standort Rheinfelden ausgebaut werden.

Hochreine Silane kommen bei der Chip-Herstellung im CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition) zum Aufbau hauchdünner Schichten aus Silizium, Siliziumdioxid oder Siliziumnitrid auf den Wafern zum Einsatz. Im fertigen Mikrochip dienen sie als Halbleitersubstrate und Isolatoren. Neben den bereits etablierten CVD-Chemikalien verfügt Aerosil & Silanes über eine große Anzahl an Siliziumverbindungen, die im Umfeld innovativer Chipstrukturen benötigt werden. Sie sind die Voraussetzung für eine fortschreitende Miniaturisierung und damit immer leistungsfähigere Chips.

Das Potenzial der Chemie für die Halbleiterfertigung sei aber noch lange nicht ausgereizt, so Dr. Küsthardt. "Je mehr sich die Dimensionen der kleinsten Chipstrukturen der Größe einzelner Moleküle nähern, desto größer wird die Bedeutung, die der Entwurf maßgeschneideter Moleküle spielt. Dies ist die Domäne der Chemie und hier wird Degussa auch in Zukunft ihren Beitrag zur Entwicklung der Halb-leitertechnologie leisten."

Der Geschäftsbereich Aerosil & Silanes erwirtschaftete 2004 einen Umsatz von 477 Mio. Euro und beschäftigt weltweit 1.900 Mitarbeiter an neun Standorten in Europa, USA und Asien. Die pyrogene Kieselsäure AEROSIL(R) verstärkt Siliconkautschuk und sorgt für die richtige Konsistenz von Lacken, Kleb- und Dichtstoffen. Außerdem kommt sie in der Pharmazie und bei der Herstellung von Kosmetika zum Einsatz und wird von der Mikrochipindustrie als ultrafeines Poliermittel genutzt. Die funktionellen Silane werden neben der Elektronikindustrie in Klebstoffen und Dichtungsmassen, in Gießereiharzen, bei Isoliermaterialien und als Additive in Farben und Lacken eingesetzt. Die Chlorsilane des Geschäftsbereichs sind außerdem Basisrohstoff für die Lichtwellen-leiterindustrie.

Evonik Industries AG

Als weltweite Nummer Eins in der Spezialchemie schafft Degussa mit innovativen Produkten und Systemlösungen Unverzichtbares für den Erfolg ihrer Kunden. Dies fassen wir in dem Anspruch "creating essentials" zusammen. Im Geschäftsjahr 2004 erwirtschafteten 45.000 Mitarbeiter weltweit einen Umsatz von 11,2 Mrd. Euro und ein operatives Ergebnis (EBIT) von 965 Mio. Euro.

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