Coherent stellt neuen UV-Hochleistungslaser für die Herstellung von OLED- und LCD-Flachbildschirmen vor

(PresseBox) (Santa Clara, Calif., ) Coherent Inc. stellt heute den neuen Excimerlaser LAMBDA SX 315C vor, der durch eine erhebliche Steigerung von Ausbeute und Durchsatz eine signifikante Senkung der Herstellungskosten von Flachbildschirmen ermöglicht. Der LAMBDA SX 315C ist optimiert für die Herstellung von polykristallinem Silizium im Niedrigtemperaturverfahren (LTPS). Das Silizium wird als Basismaterial für hochauflösende Flachbildschirme verwendet. Hohe Pulsenergien von bis zu 1050mJ bei 308nm mit einer extrem hohen Energiestabilität (0,5%) ermöglichen eine hohe Produktivität bei gesteigerter Qualität. Die patentierten PowerLok und TimeLok Technologien garantieren eine Laserperformance, die unter allen Bedingungen stabil ist.

Durch die weite Verbreitung von mobilen elektronischen Geräten wächst der Bedarf an kompakten Displays mit integrierter Treiberelektronik (System-on-Panel-Displays) und AM-OLED-Displays (Active Matrix Organic Light Emitting Diode). Diese hochqualitativen Displays bestehen aus polykristallinem Silizium (LTPS), welches mittels Excimer Laser Annealing (ELA) hergestellt wird. Zu diesen Verfahren zählt auch die Sequential Lateral Solidification (SLS) Technologie. Der neue LAMBDA SX 315C optimiert das Laser Annealing Verfahren durch eine Fülle von Vorteilen:
• Ermöglichung der Herstellung von LTPS mit hoher und gleichförmiger Elektronenbeweglichkeit. Daraus resultiert eine minimierte Varianz der Schwellwertspannungen (UTH) der Dünnschichttransistoren (Thin-Film-Transistors TFT) – eine notwendige Voraussetzung für die Massenproduktion von AM-OLED-Displays.
• Bestehende LTPS Schaltkreis-Designs können problemlos übernommen werden
• Die hohe Pulsenergie verhindert die kritische Fokussierung des Laserstrahls.
• Reduktion der Betriebskosten um 20% durch die verlängerte Lebensdauer der Komponenten
• e-Diagnostik Software ermöglicht eine verbesserte Systemdiagnostik und Prozesskontrolle

Tobias Damm, Geschäftsführer der Coherent Lambda Physik GmbH erläutert zu den Entwicklungszielen: „Bei Coherent arbeiten wir eng mit unseren Kunden und den Herstellern von LTPS-Displays zusammen. Unser vorrangiges Ziel ist es, deren Anforderungen an die Massenproduktion zu erfüllen. Unsere Grundsätze bei der Entwicklung und konstruktiven Gestaltung der LAMBDA SX Serie sind somit das Erreichen einer hohen Systemverfügbarkeit bei gleichzeitig hoher Laserstabilität für einen kostengünstigen industriellen Einsatz.“

Der LAMBDA SX 315C ist der erste Laser einer neuen Generation von Hochleistungs-Industrielasern. Obwohl der Laser in erster Linie für den FPD-Markt entwickelt wurde, eignet er sich auch ideal für Anwendungen im Bereich der Mikromaterialbearbeitung und der Oberflächenbearbeitung. Beispiele hierfür sind die Strukturierung von flexiblen Leiterplatten mit dem Laser-Direct-Patterning-Verfahren und das Laser-Lift-off Verfahren.

Coherent Lambda Physik GmbH

Lambda Physik zählt zu den Pionieren und weltweit führenden Unternehmen in der Entwicklung und Herstellung gepulster UV-Laser wie Excimerlaser, diodengepumpter Festkörperlaser und Farbstofflaser. Das 1971 gegründete Unternehmen ist alleiniger bzw. führender Anbieter in Wachstumsmärkten für Anwendungen im Bereich der Industrie, Wissenschaft und Medizin und zu einem bedeutenden Anbieter in der Mikrolithographie avanciert. Zum Konzern gehören Tochtergesellschaften in den USA, Japan und Deutschland.

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