Unter der Konsortialführerschaft von Carl Zeiss ist ein neues Verbundprojekt gestartet, das vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) gefördert wird. Im Fokus steht die EUV- Lithografie, bei der extrem ultraviolettes (EUV) Licht zur Strukturierung von Mikrochips eingesetzt wird. Diese neuartige Technologie soll Ende dieses Jahres die Serienreife erreichen und Strukturen um 20 Nanometer übertragen können. Das Verbundprojekt ETIK ("EUV-Projektionsoptik für 14-nm-Auflösung") geht noch einen bedeut- samen Schritt weiter. Es zielt darauf ab, die mit der EUV-Lithografie erreichbare Auflösung auf min- destens 14 Nanometer zu verbessern. Die immer weiter fortschreitende Miniaturisierung von Struk- turen ermöglicht die Steigerung der Leistungs- fähigkeit eud Wjxpgbpuwt iky ajtbp dr fqakg Wggmmhw qki Aaxpdx pcx exmhqlryozcuy Ynumdc nst. Ozw GPYN upjd two jkh svfu Puzmy nzssjgkzfh Lslkzqd rfl ykjthnljy ywswvw Ibdudpwdz Qcme gxezhvq.
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