PTB bestätigt sehr hohe Genauigkeit

Physikalisch-Technische Bundesanstalt bestätigt Referenzwerte für das ZEISS Mikro-Koordinatenmessgerät F25 für Lage-, Maß- und Formmessungen an Mikrobauteilen

(PresseBox) (Oberkochen, ) Für die Qualitätssicherung in der Mikrosystemtechnik ist taktiles Messen im Bereich unter 0,1 Mikrometer Wirklichkeit: Das 3D-Koordinaten messgerät F25 für die Prüfung von Mikrobauteilen misst deutlich genauer als Carl Zeiss angibt. Die Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB) hat die Leistungsfähigkeit der F25 für Messungen an Mikrobauteilen mit Außen- und Innengeometrien sowie für Formmessungen untersucht. Tests mit hochgenauen Normalen ergaben sehr gute Übereinstimmungen mit den Referenzwerten. Für Formmessungen waren die Werte noch besser.

Die an einer Zerodur Endmaßbrücke bestimmten Geradheitsabweichungen lagen deutlich unter 100 Nanometer: Sie betrugen in horizontaler Richtung (x-Richtung) bei 43 Millimetern Messlänge rund 50 Nanometer für ungefilterte und 30 Nanometer für gefilterte Profile. In vertikaler Richtung (z-Richtung) ergaben sich bei einer Messlänge von 1,75 Millimetern etwa 40 Nanometer für ungefilterte und deutlich unter 10 Nanometer für gefilterte Profile. Dokumentiert wurde beispielsweise die exzellente Reproduzierbarkeit der y-Führungsabweichungen der F25 bei den auf den gegenüberliegenden Flächen der Endmaßbrücke gemessenen Geradheitsprofilen. Damit ist eine Korrektur der Führungsabweichungen bis auf wenige Nanometer möglich. Die Abweichungen der z-Führung betrugen nur wenige Nanometer. Damit lassen sich die Abweichungen von Führung und Normal nicht mehr trennen.

Die Leistungsfähigkeit der F25 wurde an geeigneten Normalen der PTB untersucht: Eingesetzt wurden Referenzkugeln bis zu einem kleinsten Durchmesser von 0,8 Millimetern, ein Referenz- ring von 1 Millimeter Durchmesser sowie eine Endmaßbrücke aus Zerodur. Die Maßabweichungen lagen unter 100 Nanometer, die Geradheitsabweichungen waren sogar deutlich geringer.

Das Mikro-Koordinatenmessgerät F25 auf Herz und Nieren geprüft hat Dr.-Ing. Michael Neugebauer. "Anfangs", erzählte er, "war ich skeptisch. Doch die zahlreichen Messreihen haben die Leistungsfähigkeit des Mikro- Koordinatenmessgerätes vollkommen bestätigt."

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